7月23日,青海省2020年科学技术奖励结果公布,由黄河公司新能源分公司主导研发的“电子级多晶硅成套制备技术的研发及产业化”荣获青海省科学技术进步一等奖。
电子级多晶硅是集成电路和分立器件的最基础原材料,更是信息产业、集成电路产业、新能源产业发展的命脉。但其制备技术却长期被美、德、日等发达国家封锁,若只能依赖进口,犹如被人扼住了喉咙。
“只有突破电子级多晶硅生产核心技术,彻底打破国外多晶硅企业垄断市场,才能使我国摆脱集成电路关键基础材料长期进口受制于国外的局面。”该项目的第一完成人——黄河公司党委书记、董事长谢小平深知实现国产材料取代进口材料的重要性。
为实现集成电路硅材料国产化,完成进口替代,新能源分公司自2009年起就围绕微电子单晶用多晶硅产品制备和产业化应用展开研究。十年磨一剑,在与浙江大学硅材料国家重点实验室、浙江金瑞泓科技股份有限公司的共同研究合作下,目前已形成副产物四氯化硅高效循环利用技术、三氯氢硅气体分离提纯技术、高纯多晶硅制备和质量控制技术等一系列核心自主技术,实现了微电子单晶用多晶硅产品的规模化生产。
该项目目前拥有完全自主知识产权,累计申请专利24项,其中获得发明专利授权5项,受理发明专利6项,参与编制国家标准7部、行业标准4部。
依托项目研究,新能源分公司已经具备电子级多晶硅生产装置工程化能力,并且成为国内唯一一家量产并批量销售电子级多晶硅的企业。生产的“黄河水电多晶硅”经过ChemTrace、EAG、SGS等国内外20多家权威机构检测和上百次下游企业的评估、试用,质量指标已与国外龙头企业相当,完全满足分立器件研磨片、3-6英寸抛光片、8英寸、12英寸外延片和抛光片的制造要求,产品质量达到国际先进水平,产品市场占有率逐年攀升,目前国内市场占有率达20%。
“经过多年深耕,新能源分公司已经成功突破电子级多晶硅生产核心技术,实现了在集成电路产业的大规模应用,彻底打破了国外市场垄断,保障了我国集成电路硅材料产业的战略安全,加快了我国6-8英寸、8-12英寸硅片和集成电路用高纯硅材料产业化的进程。”黄河公司党委委员、副总经理刘刚介绍道,特别是中美贸易纷争激烈的背景下,新能源分公司推进了集成电路硅材料国产化进程,完成了进口替代,填补了电子级多晶硅生产技术和市场的空白。
“集成电路产业的发展关乎企业、关乎青海、更关乎国家。我们将继续潜心钻研,攻克难点,打造国家集成电路材料一流企业,擘画高质量发展蓝图,全力推动国家基础材料战略安全。未来可期!”对于未来发展,新能源分公司总经理秦榕信心满满。作者:訾丽周国峰